全自動塗布装置
ウエハレベルCSP対応塗布装置
- ウエハに配列されたデバイスに対して精密に塗布
- マガジンに収納されたウエハを一枚ずつ取り出して、塗布終了後マガジンに収納
仕様
SYSTEM300-68WCSP
| ステージサイズ | 6インチ / 8インチウエハ対応 (特注で12インチも対応可能) |
|---|---|
| 画像認識 | グレーサーチ LED同軸落射照明 |
| 塗布位置精度 | ±0.01mm |
| クリーンルーム仕様 | クラス100 |
| 補正機能 | ニードルクリアランス補正機能 ニードルキャリブレーション機能 その他 |
| 外形寸法 | (W)1,600 × (D)1,100 × (H)2,000mm |