全自動塗布装置
OLED向けUVシール剤塗布装置
- OLED生産ラインにおけるシール剤塗布装置
- 循環式ガス精製ユニットによるN2雰囲気に対応できる気密性をもつ
仕様
FDS1H3000-4673
| 対応基板サイズ | 460 × 730mm |
|---|---|
| 搬送方式 | ロボットによる基板受け渡し |
| 塗布位置精度 | ±0.05mm |
| 補正機能 | 画像認識位置補正機能 ニードルキャリブレーション機能 ワーク高さ補正機能 |
| 外形寸法 | (W)2,000 × (D)1,400 × (H)1,800mm |
| 対応基板サイズ | 460 × 730mm |
|---|---|
| 搬送方式 | ロボットによる基板受け渡し |
| 塗布位置精度 | ±0.05mm |
| 補正機能 | 画像認識位置補正機能 ニードルキャリブレーション機能 ワーク高さ補正機能 |
| 外形寸法 | (W)2,000 × (D)1,400 × (H)1,800mm |